Gasdruck zu niedrig. Das aktuelle Programm wird abgebrochen. Bitte Gas prüfen !!!

Was bedeutet LastPartToLess- Gas ?

Der Gasdruck ist unter einen kritischen Mindestschwellenwert gefallen, wodurch das aktuelle Programm sofort abgebrochen wird. Dies ist ein kritisches Problem mit der Gasversorgung, das dringend behoben werden muss.

• Gasdruck unter den Mindestanforderungen für das aktuelle Programm gefallen.
• Unzureichende Durchflussrate des spezifizierten Prozessgases.
• Externes Gasversorgungssystem fällt aus.
• Leck im Gasweg, der zur Prozesskammer führt.
• Falsche Kalibrierung des Gasdurchflussreglers.

Klicken Sie auf Schritte, um Ihren Fortschritt zu verfolgen.

1. 1

   Gasdruck korrigieren durch Überprüfung von Versorgungsbehälter, Reglern und Durchflussraten.

2. 2

   Meldung auf dem HMI der Robotersteuerung quittieren.

3. 3

   Programm fortsetzen oder neu starten, nachdem ein stabiler Gasdruck wiederhergestellt ist.